近日，浙江大學光學技術與儀器全國重點實驗室、浙江大學杭州國際科創(chuàng)光學技術與儀器研究院聯合研發(fā)的桌面式高分辨極紫外光顯微鏡正式亮相。這臺占地僅約 5 平方米的設備，上海自動化儀表三廠集成極紫外光源、光束濾波、能量檢測、衍射成像與光譜診斷等核心模塊，成功將原本依賴同步輻射光源的顯微技術，濃縮至普通實驗室可 “即插即用” 的桌面級系統(tǒng)，標志著我國在極紫外光學、精密加工領域躋身國際行列。

　　上海自動化儀表三廠探索微觀世界的核心痛點，長期受制于傳統(tǒng)技術局限：傳統(tǒng)光學顯微鏡受衍射極限限制，無法看清納米級細節(jié)；電子顯微鏡僅能觀測樣品表面，且需高真空環(huán)境與復雜前處理；X 射線顯微鏡雖能透視內部，但高清成像依賴占地數足球場、耗資數十億元的同步輻射大科學裝置，國內且使用門檻高。針對這一困境，浙大團隊歷時數年攻關，融合高次諧波產生(HHG)技術與疊層衍射成像算法，研發(fā)出這套無需大型光源、無需成像透鏡的新型顯微設備，打破了微觀表征對大裝置的依賴。

　　該顯微鏡核心采用疊層衍射成像無透鏡計算成像技術，通過極紫外光照射樣品獲取衍射圖樣，再經相位恢復算法重構高清圖像，不僅規(guī)避了極紫外透鏡制造的難題，更讓分辨率僅取決于光波長與探測數值孔徑。性能測試顯示，設備在極紫外波段實現優(yōu)于 25 納米的穩(wěn)定高分辨率成像，較頭發(fā)絲細 3000 多倍，逼近理論極限，達國內最高水準(國際高水準為 12.6 納米)；同時具備材料特異性識別能力，利用極紫外光與元素內層電子能級的相互作用，無需標記染色即可區(qū)分硅、金屬、生物組織等不同成分，同步完成結構成像與化學成分分析；此外，設備可同步獲取樣品吸收圖像與相位信息，精準還原納米級深度 / 高度數據，為微納結構缺陷檢測與三維表征提供關鍵支撐。

　　作為高度集成的 “交鑰匙” 系統(tǒng)，該顯微鏡光路兼容透射與反射成像模式，結構簡潔、部署靈活，改變傳統(tǒng)短波成像技術只能依托大科學裝置的現狀。在應用層面，其可高效賦能材料科學、芯片制造、生物醫(yī)學等關鍵領域：在材料研究中，可精準分析材料界面、摻雜分布與薄膜厚度，實時觀測鋰電池電極材料充放電過程的微觀演化；在芯片檢測領域，可對極紫外光刻掩模版進行無損檢測，精準識別納米級缺陷，直接助力芯片良率提升；在生物醫(yī)學領域，對碳、氮、氧等輕元素高度敏感，可在 “水窗波段” 無需染色直接觀測細胞內部結構，為病毒入侵機制、藥物作用機理等研究提供全新觀測手段。

　　上海自動化儀表有限公司此次桌面式極紫外光顯微鏡的成功研發(fā)，是我國高端科學儀器自主創(chuàng)新的里程碑式成果，不僅攻克了極紫外光學系統(tǒng)小型化、無透鏡計算成像等關鍵核心技術，更為我國在量子材料、先進半導體、生物醫(yī)藥等前沿領域的研究提供了自主可控的高端表征設備支撐。未來，隨著技術持續(xù)迭代與推廣應用，該設備有望進一步降低微觀檢測門檻，加速我國在極紫外光學與高端科學儀器領域的國產化替代進程，上海自動化儀表有限公司為新質生產力培育與高質量發(fā)展注入強勁科技動力。